在選購全自動晶圓接觸角測量儀時可參考以下因素:
1、核心參數(shù):
角度分辨率:優(yōu)先選擇±0.1°以內(nèi)機型,高精度需求可選±0.01°。
重復性誤差:同一樣品多次測量標準偏差應小于±0.5°。
接觸角范圍:需覆蓋0°~180°。
2、成像系統(tǒng):
配備高速工業(yè)相機(如500萬像素以上)與遠心光學鏡頭,減少畸變。
幀率≥1000fps以支持動態(tài)過程捕捉。
3、功能擴展性:
光源系統(tǒng):可選配可調(diào)亮度/色溫光源與偏振光模式,消除反射干擾。
樣品臺:支持電動升降(行程≥50mm)、傾斜(±60°)及恒溫加熱。
自動化模塊:電動XYZ三軸位移臺實現(xiàn)多位置連續(xù)測量。
4、軟件功能:
支持圓擬合法、橢圓擬合法及Young-Laplace方程擬合等算法。
集成表面自由能計算模塊。
提供自動批處理、CSV/Excel數(shù)據(jù)導出及圖像存檔功能。
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